Sensore a bypass CMOS
La portata viene rilevata da un sensore in bypass che lavora secondo un principio termico, con il vantaggio di fornire la portata massica senza alcuna correzione di pressione o di temperatura.
Una piccola parte del flusso totale di gas viene deviata in un piccolo canale di bypass, che assicura le condizioni di portata lamellare. L'elemento sensore è un chip immerso nella parete di questo canale. Il chip, prodotto in tecnologia CMOSens ®, contiene una resistenza e due sensori di temperatura (termopile) posizionati simmetricamente a monte e a valle del riscaldatore. La differenza di tensione delle termopile è una misura della portata massica che attraversa questo canale di bypass. La procedura di taratura garantisce una corrispondenza univoca tra segnale del sensore e la massa in transito.
Disegno della funzione del sensore di bypass in tecnologia CMOSSens® (sezione trasversale del canale di bypass)